Компонент | 99,9999% | Одиниця |
Кисень (Ar) | ≤0,1 | ppmV |
Азот | ≤0,1 | ppmV |
Водень | ≤20 | ppmV |
Гелій | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0,1 | ppmV |
ТГК | ≤0,1 | ppmV |
Хлорсилани | ≤0,1 | ppmV |
Дисилоксан | ≤0,1 | ppmV |
Дисілан | ≤0,1 | ppmV |
Вологість (H2O) | ≤0,1 | ppmV |
Силан – це сполука кремнію та водню. Це загальний термін для низки сполук, включаючи моносилан (SiH4), дисилан (Si2H6) та деякі кремній-водневі сполуки вищого рівня. Серед них найпоширенішим є моносилан, який іноді скорочено називають силаном. Силан – це безбарвний газ з огидним запахом часнику. Розчинний у воді, майже нерозчинний у етанолі, ефірі, бензолі, хлороформі, кремнієвій кислоті (хлороформі) та тетрахлориді кремнію. Хімічні властивості силанів набагато активніші, ніж у алканів, і легко окислюються. Спонтанне займання може відбуватися при контакті з повітрям. Він не реагує з азотом нижче 25°C та не реагує з вуглеводневими сполуками при кімнатній температурі. Займання та вибух силану є результатом реакції з киснем. Силан надзвичайно чутливий до кисню та повітря. Силан певної концентрації також вибухово реагує з киснем при температурі -180°C. Силан став найважливішим спеціальним газом, що використовується в процесах напівпровідникової мікроелектроніки, і використовується для виготовлення різних мікроелектронних плівок, включаючи монокристалічні плівки, мікрокристалічні, полікристалічні, оксид кремнію, нітрид кремнію та силіциди металів. Мікроелектронні застосування силану все ще глибоко розвиваються: низькотемпературна епітаксія, селективна епітаксія та гетероепітаксія. Не тільки для кремнієвих пристроїв та кремнієвих інтегральних схем, але й для складних напівпровідникових пристроїв (арсенід галію, карбід кремнію тощо). Він також має застосування у виробництві надґраткових квантових ямних матеріалів. Можна сказати, що силан використовується майже на всіх передових виробничих лініях інтегральних схем у сучасний час. Застосування силану як кремнійвмісної плівки та покриття розширилося від традиційної мікроелектронної промисловості до різних галузей, таких як сталь, машинобудування, хімікати та оптика. Ще одним потенційним застосуванням силану є виробництво високопродуктивних керамічних деталей двигунів, особливо використання силану для виробництва силіцидних (Si3N4, SiC тощо) мікропорошкових технологій привертає все більше уваги.
①Електронний:
Силан наноситься на полікристалічні шари кремнію на кремнієвих пластинах під час виробництва напівпровідників та герметиків.
②Сонячна енергія:
Силан використовується у виробництві сонячних фотоелектричних модулів.
③Промисловість:
Він використовується в енергозберігаючому зеленому склі та застосовується для процесу тонкоплівкового осадження з парової фази.
Продукт | Рідкий силановий SiH4 | |
Розмір упаковки | 47-літровий циліндр | Y-440L |
Вага нетто/циліндр | 10 кг | 125 кг |
КІЛЬКІСТЬ ЗАвантажено в 20-футовий контейнер | 250 циліндрів | 8 циліндрів |
Загальна вага нетто | 2,5 тонни | 1 тонна |
Вага тарованого циліндра | 52 кг | 680 кг |
Клапан | CGA632/DISS632 |
①Більше десяти років на ринку;
②Виробник сертифіката ISO;
③Швидка доставка;
④Стабільне джерело сировини;
⑤Система онлайн-аналізу для контролю якості на кожному кроці;
⑥Високі вимоги та ретельний процес обробки циліндра перед заповненням;
⑦Чистота: висока чистота, для електронних систем;
⑧Використання: матеріали для сонячних елементів; виготовлення високочистого полікремнію, оксиду кремнію та оптичного волокна; виробництво кольорового скла.