компонент | 99,9999% | одиниця |
Кисень (Ar) | ≤0,1 | ppmV |
Азот | ≤0,1 | ppmV |
водень | ≤20 | ppmV |
Гелій | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0,1 | ppmV |
ТГК | ≤0,1 | ppmV |
Хлоросилани | ≤0,1 | ppmV |
Дісилоксан | ≤0,1 | ppmV |
Дісілан | ≤0,1 | ppmV |
Волога (H2O) | ≤0,1 | ppmV |
Силан - це з'єднання кремнію і водню. Це загальний термін для ряду сполук, включаючи моносилан (SiH4), дисилан (Si2H6) і деякі кремній-водневі сполуки вищого рівня. Серед них найбільш поширеним є моносилан, який іноді скорочено називають силаном. Силан — безбарвний газ з огидним запахом часнику. Розчинний у воді, майже нерозчинний у етанолі, ефірі, бензолі, хлороформі, хлороформі кремнію та тетрахлориді кремнію. За хімічними властивостями силани набагато активніші, ніж алкани, і легко окислюються. При контакті з повітрям може виникнути самозаймання. Він не реагує з азотом при температурі нижче 25°C і не реагує з вуглеводневими сполуками при кімнатній температурі. Пожежа і вибух силану є результатом реакції з киснем. Силан надзвичайно чутливий до кисню та повітря. Силан певної концентрації також вибухово реагує з киснем при температурі -180°C. Силан став найважливішим спеціальним газом, який використовується в процесах напівпровідникової мікроелектроніки, і використовується для отримання різних мікроелектронних плівок, включаючи монокристалічні плівки, мікрокристалічні, полікристалічні, оксид кремнію, нітрид кремнію та силіциди металів. Мікроелектронне застосування силану все ще розвивається глибоко: низькотемпературна епітаксія, селективна епітаксія та гетероепітаксія. Не тільки для кремнієвих пристроїв і кремнієвих інтегральних схем, а й для складених напівпровідникових пристроїв (арсеніду галію, карбіду кремнію тощо). Він також має застосування у підготовці матеріалів суперрешіткових квантових ям. Можна сказати, що силан використовується майже у всіх сучасних лініях виробництва інтегральних схем. Застосування силану як плівки та покриття, що містить кремній, розширилося від традиційної мікроелектронної промисловості до різних галузей, таких як сталь, машинобудування, хімікати та оптика. Іншим потенційним застосуванням силану є виробництво високоефективних керамічних деталей двигуна, особливо використання силану для виробництва мікропорошкової технології силіцидів (Si3N4, SiC тощо) привертає все більше уваги.
①Електронний:
Силан наноситься на шари полікристалічного кремнію на кремнієвих пластинах при виробництві напівпровідників і герметиків.
②Сонячна:
Силан використовується у виробництві сонячних фотоелектричних модулів.
③Промисловий:
Він використовується в енергозберігаючому зеленому склі та застосовується для процесу осадження тонкої плівки з парової фази.
Продукт | Силан SiH4 рідина | |
Розмір упаковки | Циліндр 47 л | Y-440L |
Вага нетто заповнення/цил | 10 кг | 125 кг |
КІЛЬКІСТЬ Завантажено в 20-футовий контейнер | 250 циліндрів | 8цил |
Загальна вага нетто | 2,5 тонни | 1 тонна |
Вага циліндра | 52 кг | 680 кг |
Клапан | CGA632/DISS632 |
①Більше десяти років на ринку;
②Виробник сертифіката ISO;
③Швидка доставка;
④Стабільне джерело сировини;
⑤Он-лайн система аналізу для контролю якості на кожному кроці;
⑥Високі вимоги та ретельний процес обробки циліндра перед наповненням;
⑦Purity: електронний клас високої чистоти;
⑧ Використання: матеріали сонячних батарей; виготовлення полікремнію високої чистоти, оксиду кремнію та оптичного волокна; виробництво кольорового скла.