Чотирифтористий вуглець (CF4)

Технічні параметри

Чотирифтористий вуглець є галогенованим вуглеводнем з хімічною формулою CF4.Його можна розглядати як галогенований вуглеводень, галогенований метан, перфторвуглець або як неорганічну сполуку.Чотирифтористий вуглець – газ без кольору і запаху, нерозчинний у воді, розчинний у бензолі та хлороформі.Стабільний за нормальної температури та тиску, уникайте сильних окислювачів, легкозаймистих або горючих матеріалів.Негорючий газ, внутрішній тиск контейнера підвищиться під впливом високої температури, і існує небезпека розтріскування та вибуху.Він хімічно стійкий і негорючий.При кімнатній температурі може працювати тільки рідкий металевий аміак-натрій.Чотирифтористий вуглець - газ, що викликає парниковий ефект.Він дуже стабільний, може залишатися в атмосфері тривалий час і є дуже потужним парниковим газом.Чотирифтористий вуглець використовується в процесі плазмового травлення різних інтегральних схем.Він також використовується як лазерний газ і використовується в низькотемпературних холодоагентах, розчинниках, мастильних матеріалах, ізоляційних матеріалах і охолоджувачах для інфрачервоних детекторів.Це найбільш використовуваний газ для плазмового травлення в мікроелектронній промисловості.Це суміш газу високої чистоти тетрафторметану, газу високої чистоти тетрафторметану та кисню високої чистоти.Його можна широко використовувати в кремнії, діоксиді кремнію, нітриді кремнію та фосфорилікатному склі.Травлення тонкоплівкових матеріалів, таких як вольфрам і вольфрам, також широко використовується для очищення поверхонь електронних пристроїв, виробництва сонячних батарей, лазерних технологій, низькотемпературного охолодження, перевірки витоків і миючих засобів у виробництві друкованих плат.Використовується як низькотемпературний холодоагент і технологія плазмового сухого травлення для інтегральних схем.Запобіжні заходи при зберіганні: Зберігати в прохолодному вентильованому складі негорючих газів.Тримайте подалі від вогню та джерел тепла.Температура зберігання не повинна перевищувати 30°С.Його слід зберігати окремо від легкозаймистих речовин і окислювачів і уникати змішаного зберігання.Зона зберігання повинна бути обладнана обладнанням для екстреного лікування витоків.

застосування:

① Холодоагент:

Тетрафторметан іноді використовується як низькотемпературний холодоагент.

② Травлення:

Він використовується в мікровиробництві електроніки окремо або в поєднанні з киснем як плазмовий травитель для кремнію, діоксиду кремнію та нітриду кремнію.

Звичайний пакет:

Перевага:

①Висока чистота, новітнє обладнання;

②Виробник сертифіката ISO;

③Швидка доставка;

④Он-лайн система аналізу для контролю якості на кожному кроці;

⑤Високі вимоги та ретельний процес обробки циліндра перед наповненням;