ЕлектроннийСпеціальні газиє важливою галуззю спеціальних газів. Вони проникають майже в кожну зв'язок напівпровідникового виробництва і є незамінною сировиною для виробництва електронних промислових промислових промислових промислових виробів, таких як ультрасумічні інтегровані схеми, пристрої з плоскими панеллю та сонячні батареї.

У напівпровідниковій технології широко використовуються гази, що містять фтор, що містять. В даний час на світовому ринку електронних газів електронні гази, що містять фтор, становлять близько 30% від загальної кількості. Електронні гази, що містять фтор, є важливим компонентом спеціальних електронних газів у галузі електронних інформаційних матеріалів. Вони в основному використовуються як засоби для чищення та офорт, а також можуть використовуватися як допанти, матеріали, що утворюють плівку тощо.

Далі зазвичай використовуються гази, що містять фтор,

Трифторид азоту (NF3): газ, що використовується для очищення та видалення відкладень, зазвичай використовується для очищення реакційних камер та поверхонь обладнання.

Сірчаний гексафторид (SF6): Фтор -агент, що використовується в процесах осадження оксиду та як ізоляційний газ для заповнення ізоляційних середовищ.

Фторид водню (HF): використовується для видалення оксидів з поверхні кремнію та як інтенсив для травлення кремнію та інших матеріалів.

Фторид азоту (NF): використовується для травлення таких матеріалів, як нітрид кремнію (гріх) та алюмінієвий нітрид (ALN).

Трифторометан (CHF3) іТетрафторометан (CF4): Використовується для травлення фторидних матеріалів, таких як кремній фторид та алюмінієвий фторид.

Однак гази, що містять фтор, мають певну небезпеку, включаючи токсичність, корозійність та горючість.

Токсичність

Деякі гази, що містять фтор, токсичні, такі як фторид водню (HF), пара яких сильно дратує шкірі та дихальні шляхи та шкідливі для здоров'я людини.

Корозійність

Фторид водню та деякі фтори є дуже корозійними і можуть завдати серйозного пошкодження шкіри, очей та дихальних шляхів.

Помітність

Деякі фториди легкозаймисті і реагують з киснем або водою у повітрі для вивільнення інтенсивного тепла та токсичних газів, що може спричинити вогонь або вибух.

Небезпека високого тиску

Деякі фторовані гази вибухонебезпечні під високим тиском і потребують особливого догляду при використанні та зберігання.

Вплив на навколишнє середовище

Фтор, що містять фтор, мають високі атмосферні терміни експлуатації та значення GWP, які мають руйнівний вплив на атмосферний шар озону і можуть спричинити глобальне потепління та забруднення навколишнього середовища.

Застосування газів у нових сферах, таких як електроніка, продовжує поглиблюватися, приносячи велику кількість нового попиту на промислові гази. Виходячи з великої кількості нових виробничих потужностей основних електронних компонентів, таких як напівпровідники та панелі дисплеїв у материковому Китаї в найближчі кілька років, а також сильний попит на заміну імпорту електронних хімічних матеріалів, внутрішня електронна газова промисловість призведе до високих темпів зростання.