електронніспеціальні газиє важливою галуззю спеціальних газів. Вони проникають майже в усі ланки виробництва напівпровідників і є незамінною сировиною для виробництва електронних галузей, таких як надвеликі інтегральні схеми, дисплеї з плоскими панелями та сонячні елементи.

У напівпровідниковій техніці широко використовуються фторовмісні гази. В даний час на світовому ринку електронних газів фторвмісні електронні гази складають близько 30% від загального обсягу. Фторовмісні електронні гази є важливим компонентом спеціальних електронних газів у сфері електронних інформаційних матеріалів. Вони в основному використовуються як миючі засоби та травильні речовини, а також можуть використовуватися як допанти, плівкоутворювальні матеріали тощо. У цій статті автор розповість вам про поширені фторвмісні гази.

Нижче перераховані зазвичай використовувані фторовмісні гази

Трифторид азоту (NF3): газ, який використовується для очищення та видалення відкладень, зазвичай використовується для очищення реакційних камер і поверхонь обладнання.

Гексафторид сірки (SF6): Фторуючий агент, який використовується в процесах осадження оксидів і як ізоляційний газ для наповнення ізоляційних середовищ.

Фтористий водень (HF): використовується для видалення оксидів із поверхні кремнію та як травитель для травлення кремнію та інших матеріалів.

Фтористий азот (NF): використовується для травлення таких матеріалів, як нітрид кремнію (SiN) і нітрид алюмінію (AlN).

Трифторметан (CHF3) ітетрафторметан (CF4): Використовується для травлення фтористих матеріалів, таких як фторид кремнію та фторид алюмінію.

Проте фторвмісні гази мають певну небезпеку, зокрема токсичність, корозійну активність і займистість.

Токсичність

Деякі фторвмісні гази є токсичними, наприклад фтористий водень (HF), пари якого сильно подразнюють шкіру та дихальні шляхи та шкідливі для здоров'я людини.

Корозійність

Фтористий водень і деякі фториди є сильно корозійними і можуть серйозно пошкодити шкіру, очі та дихальні шляхи.

Горючість

Деякі фториди легкозаймисті й реагують із киснем або водою в повітрі, вивільняючи інтенсивне тепло й токсичні гази, що може спричинити пожежу чи вибух.

Небезпека високого тиску

Деякі фторовані гази вибухонебезпечні під високим тиском і вимагають особливої ​​обережності під час використання та зберігання.

Вплив на навколишнє середовище

Фторвмісні гази мають високий час життя в атмосфері та значення GWP, які руйнівно впливають на озоновий шар атмосфери та можуть спричинити глобальне потепління та забруднення навколишнього середовища.

Застосування газів у нових галузях, таких як електроніка, продовжує поглиблюватися, створюючи великий попит на промислові гази. Завдяки великій кількості нових виробничих потужностей основних електронних компонентів, таких як напівпровідники та панелі дисплеїв, у материковому Китаї в найближчі кілька років, а також значному попиту на імпортозаміщення електронних хімічних матеріалів, вітчизняна електронна газова промисловість розпочне розвиток. висока швидкість росту.