Електроннийспеціальні газиє важливою галуззю спеціальних газів. Вони проникають майже в кожну ланку виробництва напівпровідників і є незамінною сировиною для виробництва електронних галузей, таких як надвеликомасштабні інтегральні схеми, плоскі дисплеї та сонячні елементи.

У напівпровідниковій технології фторвмісні гази широко використовуються. Наразі на світовому ринку електронних газів фторвмісні електронні гази становлять близько 30% від загальної кількості. Фторвмісні електронні гази є важливим компонентом спеціальних електронних газів у галузі електронних інформаційних матеріалів. Вони в основному використовуються як засоби для чищення та травлення, а також можуть використовуватися як легуючі домішки, плівкоутворювальні матеріали тощо. У цій статті автор ознайомить вас із поширеними фторвмісними газами.

Нижче наведено поширені фторвмісні гази

Трифторид азоту (NF3): газ, що використовується для очищення та видалення відкладень, зазвичай використовується для очищення реакційних камер та поверхонь обладнання.

Гексафторид сірки (SF6)Фторируючий агент, що використовується в процесах осадження оксидів та як ізоляційний газ для заповнення ізоляційних середовищ.

Фторид водню (HF): Використовується для видалення оксидів з поверхні кремнію та як травильний агент для травлення кремнію та інших матеріалів.

Фторид азоту (NF): Використовується для травлення матеріалів, таких як нітрид кремнію (SiN) та нітрид алюмінію (AlN).

Трифторметан (CHF3) татетрафторметан (CF4)Використовується для травлення фторвмісних матеріалів, таких як фторид кремнію та фторид алюмінію.

Однак фторвмісні гази мають певні небезпеки, включаючи токсичність, корозійну дію та займистість.

Токсичність

Деякі фторвмісні гази є токсичними, такі як фторид водню (HF), пари якого сильно подразнюють шкіру та дихальні шляхи і шкідливі для здоров'я людини.

Корозійність

Фторид водню та деякі фториди є дуже корозійними та можуть спричинити серйозне пошкодження шкіри, очей та дихальних шляхів.

Займистість

Деякі фториди є легкозаймистими та реагують з киснем або водою повітря, виділяючи сильне тепло та токсичні гази, що може спричинити пожежу або вибух.

Небезпека високого тиску

Деякі фторовані гази вибухонебезпечні під високим тиском і потребують особливої ​​обережності під час використання та зберігання.

Вплив на навколишнє середовище

Фторвмісні гази мають високий час життя в атмосфері та значення GWP, що руйнівно впливає на озоновий шар атмосфери та може спричинити глобальне потепління та забруднення навколишнього середовища.

Застосування газів у нових галузях, таких як електроніка, продовжує поглиблюватися, що призводить до значного нового попиту на промислові гази. Завдяки значному обсягу нових виробничих потужностей основних електронних компонентів, таких як напівпровідники та дисплейні панелі, у материковому Китаї протягом наступних кількох років, а також високому попиту на імпортозаміщення електронних хімічних матеріалів, вітчизняна галузь електронних газів демонструватиме високі темпи зростання.