Тунгстен шестикутник (WF6) осаджується на поверхні вафлі за допомогою процесу ССЗ, заповнення металевих взаємозв'язків та утворюючи металеве взаємозв'язок між шарами.
Давайте спочатку поговоримо про плазму. Плазма - це форма речовини, в основному складається з вільних електронів та заряджених іонів. Він широко існує у Всесвіті і часто розглядається як четвертий стан матерії. Його називають плазмовим станом, який також називається "плазма". Плазма має високу електропровідність і має сильний ефект з'єднання з електромагнітним полем. Це частково іонізований газ, що складається з електронів, іонів, вільних радикалів, нейтральних частинок та фотонів. Сама плазма - це електрично нейтральна суміш, що містить фізично та хімічно активні частинки.
Пряме пояснення полягає в тому, що під дією високої енергії молекула подолає силу Ван дер Ваальса, силу хімічної зв'язку та силу кулонів, і представить форму нейтральної електроенергії в цілому. У той же час висока енергія, що надається зовнішнім, долає вищезгадані три сили. Функція, електрони та іони представляють вільний стан, який може бути штучно використаний при модуляції магнітного поля, наприклад, напівпровідникове травлення, процес CVD, PVD та процес IMP.
Що таке висока енергія? Теоретично можна використовувати як високу температуру, так і високу частоту РФ. Взагалі, висока температура майже неможливо досягти. Ця вимога температури занадто висока і може бути близькою до температури сонця. В основному неможливо досягти в процесі. Тому галузь зазвичай використовує високочастотну РФ для її досягнення. РФ у плазмі може сягнути до 13 МГц+.
Тунльцент-гексафторид плазмозується під дією електричного поля, а потім пари, що вимикається магнітним полем. Атоми W схожі на зимові гусячі пір’я і падають на землю під дією сили тяжіння. Повільно, атоми W осаджуються в отвори через отвори і, нарешті, заповнюються повними отворами, утворюючи металеві взаємозв'язки. Окрім відкладення атомів W у отвори, чи будуть вони також осідати на поверхні вафлі? Так, безумовно. Взагалі кажучи, ви можете використовувати процес W-CMP, який ми називаємо механічним процесом шліфування для видалення. Він схожий на використання мітли для підмітання підлоги після сильного снігу. Сніг на землі змітається, але сніг у норі на землі залишиться. Вниз, приблизно однаково.
Час посади: 24-2021 грудня
