До поширених спеціальних електронних газів, що містять фтор, належатьгексафторид сірки (SF6), гексафторид вольфраму (WF6),чотирифторид вуглецю (CF4), трифторметан (CHF3), трифторид азоту (NF3), гексафторетан (C2F6) та октафторпропан (C3F8).
З розвитком нанотехнологій та масштабним розвитком електронної промисловості попит на нього зростатиме з кожним днем. Трифторид азоту, як незамінний та найбільш використовуваний спеціальний електронний газ у виробництві та обробці панелей та напівпровідників, має широкий ринковий простір.
Як тип спеціального газу, що містить фтор,трифторид азоту (NF3)є спеціальним газовим продуктом для електроніки з найбільшою ринковою ємністю. Він хімічно інертний за кімнатної температури, активніший за кисень за високої температури, стабільніший за фтор та простий у використанні. Трифторид азоту в основному використовується як газ для плазмового травлення та засіб для очищення реакційних камер, а також підходить для виробництва напівпровідникових мікросхем, плоских дисплеїв, оптичних волокон, фотоелектричних елементів тощо.
Порівняно з іншими фторвмісними електронними газами,трифторид азотумає переваги швидкої реакції та високої ефективності. Особливо при травленні кремнійвмісних матеріалів, таких як нітрид кремнію, він має високу швидкість травлення та селективність, не залишаючи залишків на поверхні протравленого об'єкта. Він також є дуже хорошим очисним засобом і не забруднює поверхню, що може задовольнити потреби процесу обробки.
Час публікації: 14 вересня 2024 р.
