Звичайні фторовмісні спеціальні електронні гази включаютьгексафторид сірки (SF6), гексафторид вольфраму (WF6),чотирифтористий вуглець (CF4), трифторметан (CHF3), трифторид азоту (NF3), гексафторетан (C2F6) і октафторпропан (C3F8).
З розвитком нанотехнологій і масштабним розвитком електронної промисловості попит на неї зростатиме з кожним днем. Трифторид азоту, як незамінний і найбільш часто використовуваний спеціальний електронний газ у виробництві та обробці панелей і напівпровідників, має широкий ринковий простір.
Як тип фторвмісного спеціального газу,трифторид азоту (NF3)це електронний спеціальний газовий продукт з найбільшою місткістю ринку. Він хімічно інертний при кімнатній температурі, більш активний, ніж кисень, при високій температурі, більш стабільний, ніж фтор, і простий у використанні. Трифторид азоту в основному використовується як газ для плазмового травлення та засіб для очищення реакційної камери та підходить для виробництва напівпровідникових мікросхем, плоских дисплеїв, оптичних волокон, фотоелектричних елементів тощо.
У порівнянні з іншими електронними газами, що містять фтор,трифтористий азотмає переваги швидкої реакції та високої ефективності. Особливо при травленні кремнійвмісних матеріалів, таких як нітрид кремнію, він має високу швидкість травлення та вибірковість, не залишаючи залишків на поверхні протравленого об’єкта. Це також дуже хороший очисний засіб і не забруднює поверхню, що може задовольнити потреби процесу обробки.
Час публікації: 14 вересня 2024 р
