Поширені фтор-містять спеціальні електронні гази включаютьсірчаний гексафторид (SF6), вольфраму гексафторид (WF6),Вуглецевий тетрафторид (CF4), Трифторометан (CHF3), трифторид азоту (NF3), Hexafluothane (C2F6) та октафторопропан (C3F8).
З розвитком нанотехнологій та масштабного розвитку галузі електроніки, її попит зросте з кожним днем. Трифторид азоту, як незамінний і найбільший спеціальний електронний газ у виробництві та переробці панелей та напівпровідників, має широкий ринок.
Як тип фто-містять спеціальний газ,Трифторид азоту (NF3)- електронний спеціальний газовий продукт з найбільшою потужністю ринку. Він хімічно інертний при кімнатній температурі, активніший, ніж кисень при високій температурі, стабільніший, ніж фтор, і легко в обробці. Трифторид азоту в основному використовується як газовий газ, що травмує плазму, і очищуючий агент реакційної камери, і підходить для виробничих полів напівпровідникових мікросхем, дисплеїв плоскої панелі, оптичних волокон, фотоелектричних клітин тощо
Порівняно з іншими електронними газами, що містять фтору,трифторид азотумає переваги швидкої реакції та високої ефективності. Особливо при травленні кремнієвих матеріалів, таких як нітрид кремнію, він має високу швидкість травлення та селективність, не залишаючи залишків на поверхні травленого об'єкта. Це також дуже хороший очисний засіб і не має забруднення на поверхні, що може задовольнити потреби процесу обробки.
Час посади: вересень-14-2024
