Найбільша кількість електронного спеціального газу - азот трифториду NF3

Промисловості напівпровідникової промисловості та колегії нашої країни підтримують високий рівень процвітання. Трифторид азоту, як незамінний і найбільший обсяг спеціального електронного газу у виробництві та переробці панелей та напівпровідників, має широкий ринок.

Зазвичай використовуються спеціальні електронні гази, що містять фтор, включаютьсірчаний гексафторид (SF6), вольфраму гексафторид (WF6),Вуглецевий тетрафторид (CF4), Трифторометан (CHF3), трифторид азоту (NF3), Hexafluothane (C2F6) та октафторопропан (C3F8). Трифторид азоту (NF3) в основному використовується як джерело фтору для водневого фторудного фторуду з високоенергетичними хімічними лазерами. Ефективна частина (близько 25%) енергії реакції між H2-O2 та F2 може бути вивільняється за допомогою лазерного випромінювання, тому HF-оф лазери є найбільш перспективними лазерами серед хімічних лазерів.

Трифторид азоту є чудовим газовим газом у галузі мікроелектроніки. Для травлення нітриду кремнію та кремнію трифторид азоту має більш високу швидкість травлення та селективність, ніж тетрафторид вуглецю, і суміш тетрафториду вуглецю та кисню, і не має забруднення на поверхні. Особливо, в травленні інтегрованих ланцюгів матеріалів з товщиною менше 1,5 -ему, трифторорид азоту має дуже відмінну швидкість травлення та селективність, не залишаючи залишків на поверхні травленого об'єкта, а також є дуже хорошим очисним засобом. З розвитком нанотехнологій та масштабного розвитку галузі електроніки, її попит зросте з кожним днем.

Як тип спеціального газу, що містить фтор, трифторид азоту (NF3) є найбільшим електронним спеціальним газовим продуктом на ринку. Він хімічно інертний при кімнатній температурі, активніший, ніж кисень, стабільніший, ніж фтор, і легко обробляти при високій температурі.

Трифторуд азоту в основному використовується як очищаючий агент з травлення газового та реакційного камери, придатні для виробничих полів, таких як напівпровідникові мікросхеми, дисплеї плоских панелей, оптичні волокна, фотоелектричні клітини тощо

У порівнянні з іншими електронними газами, що містять фтор, трифторуд азоту має переваги швидкої реакції та високої ефективності, особливо в травленні кремнію, що містять, таких як нітрид кремнію, він має високу швидкість травлення та селективність, не залишаючи залишку на поверхні об'єкта обертання, а також є дуже хорошою чистотою, і він не має переробки.