Тетрафторид вуглецю (CF4)

Технічні параметри

Тетрафторид вуглецю – це галогенований вуглеводень з хімічною формулою CF4. Його можна розглядати як галогенований вуглеводень, галогенований метан, перфторвуглець або як неорганічну сполуку. Тетрафторид вуглецю – це безбарвний газ без запаху, нерозчинний у воді, розчинний у бензолі та хлороформі. Стабільний за нормальних температур і тиску, уникайте сильних окислювачів, легкозаймистих або горючих матеріалів. Негорючий газ, внутрішній тиск у контейнері зростає при впливі високої температури, і існує небезпека розтріскування та вибуху. Він хімічно стабільний і негорючий. За кімнатної температури може працювати лише рідкий аміачно-натрієвий металевий реагент. Тетрафторид вуглецю – це газ, що викликає парниковий ефект. Він дуже стабільний, може тривалий час залишатися в атмосфері та є дуже потужним парниковим газом. Тетрафторид вуглецю використовується в процесі плазмового травлення різних інтегральних схем. Він також використовується як лазерний газ, а також використовується в низькотемпературних холодоагентах, розчинниках, мастилах, ізоляційних матеріалах та охолоджувальних рідинах для інфрачервоних детекторів. Це найбільш використовуваний газ для плазмового травлення в мікроелектронній промисловості. Це суміш високочистого газу тетрафторметану та високочистого газу тетрафторметану з високочистим киснем. Його можна широко використовувати в кремнії, діоксиді кремнію, нітриді кремнію та фосфорносилікатному склі. Травлення тонкоплівкових матеріалів, таких як вольфрам та вольфрам, також широко використовується для очищення поверхонь електронних пристроїв, виробництва сонячних елементів, лазерних технологій, низькотемпературного охолодження, перевірки на витоки та як миючий засіб у виробництві друкованих плат. Використовується як низькотемпературний холодоагент та технологія плазмового сухого травлення для інтегральних схем. Застереження щодо зберігання: Зберігати в прохолодному, вентильованому складі негорючих газів. Тримати подалі від джерел вогню та тепла. Температура зберігання не повинна перевищувати 30°C. Зберігати окремо від легкозаймистих (легкозаймистих) горючих речовин та окислювачів, уникати спільного зберігання. Зона зберігання повинна бути обладнана обладнанням для аварійної обробки витоків.

Застосування:

① Холодоагент:

Тетрафторметан іноді використовується як низькотемпературний холодоагент.

② Травлення:

Він використовується в мікровиробництві електроніки окремо або в поєднанні з киснем як плазмовий травитель для кремнію, діоксиду кремнію та нітриду кремнію.

Звичайний пакет:

Перевага:

①Висока чистота, найновіше обладнання;

②Виробник сертифіката ISO;

③Швидка доставка;

④Система онлайн-аналізу для контролю якості на кожному кроці;

⑤Високі вимоги та ретельний процес обробки циліндра перед заповненням;