Чотирифтористий вуглець (CF4)

Технічні параметри

Чотирифтористий вуглець є галогенованим вуглеводнем з хімічною формулою CF4. Його можна розглядати як галогенований вуглеводень, галогенований метан, перфторвуглець або як неорганічну сполуку. Чотирифтористий вуглець — газ без кольору і запаху, нерозчинний у воді, розчинний у бензолі та хлороформі. Стабільний за нормальної температури та тиску, уникайте сильних окислювачів, легкозаймистих або горючих матеріалів. Негорючий газ, внутрішній тиск контейнера підвищиться під впливом високої температури, і існує небезпека розтріскування та вибуху. Він хімічно стійкий і негорючий. При кімнатній температурі може працювати тільки рідкий металевий аміак-натрій. Чотирифтористий вуглець - це газ, який викликає парниковий ефект. Він дуже стабільний, може залишатися в атмосфері тривалий час і є дуже потужним парниковим газом. Чотирифтористий вуглець використовується в процесі плазмового травлення різних інтегральних схем. Він також використовується як лазерний газ і використовується в низькотемпературних холодоагентах, розчинниках, мастильних матеріалах, ізоляційних матеріалах і охолоджувачах для інфрачервоних детекторів. Це найбільш використовуваний газ для плазмового травлення в мікроелектронній промисловості. Це суміш газу високої чистоти тетрафторметану, газу високої чистоти тетрафторметану та кисню високої чистоти. Його можна широко використовувати в кремнії, діоксиді кремнію, нітриді кремнію та фосфорилікатному склі. Травлення тонкоплівкових матеріалів, таких як вольфрам і вольфрам, також широко використовується для очищення поверхонь електронних пристроїв, виробництва сонячних батарей, лазерних технологій, низькотемпературного охолодження, перевірки витоків і миючих засобів у виробництві друкованих плат. Використовується як низькотемпературний холодоагент і технологія плазмового сухого травлення для інтегральних схем. Запобіжні заходи при зберіганні: Зберігати в прохолодному вентильованому складі негорючих газів. Тримайте подалі від вогню та джерел тепла. Температура зберігання не повинна перевищувати 30°С. Його слід зберігати окремо від легкозаймистих речовин і окислювачів і уникати змішаного зберігання. Зона зберігання повинна бути обладнана обладнанням для екстреного лікування витоків.

застосування:

① Холодоагент:

Тетрафторметан іноді використовується як низькотемпературний холодоагент.

② Травлення:

Він використовується в мікровиробництві електроніки окремо або в поєднанні з киснем як плазмовий травитель для кремнію, діоксиду кремнію та нітриду кремнію.

Звичайний пакет:

Перевага:

①Висока чистота, новітнє обладнання;

②Виробник сертифіката ISO;

③Швидка доставка;

④Он-лайн система аналізу для контролю якості на кожному кроці;

⑤Високі вимоги та ретельний процес обробки циліндра перед наповненням;