Роль гексафториду сірки в травленні нітриду кремнію

Гексафторид сірки-це газ з відмінними ізоляційними властивостями і часто використовується у високостільних гасіннях дуги та трансформаторів, лініях електропередачі, трансформаторів тощо. Електронний гексафторид сірки з високою чистотою-ідеальний електронний інтенсив, який широко використовується в галузі технології мікроелектроніки. Сьогодні NIU RUIDE Спеціальний редактор газу Yueyue введе застосування гексафториду сірки в травленні нітриду кремнію та вплив різних параметрів.

We discuss the SF6 plasma etching SiNx process, including changing the plasma power, the gas ratio of SF6/He and adding the cationic gas O2, discussing its influence on the etching rate of the SiNx element protection layer of TFT, and using plasma radiation The spectrometer analyzes the concentration changes of each species in SF6/He, SF6/He/O2 plasma and the SF6 dissociation rate, and Досліджує взаємозв'язок між зміною швидкості травлення SINX та концентрацією видів плазми.

Дослідження виявили, що коли потужність у плазмі збільшується, швидкість травлення збільшується; Якщо витрата SF6 у плазмі збільшується, концентрація атома F збільшується і позитивно корелює зі швидкістю травлення. Крім того, після додавання катіонного газу O2 при фіксованій загальній швидкості потоку він матиме ефект збільшення швидкості травлення, але при різних співвідношеннях потоку O2/SF6 буде різним механізмам реакції, які можна розділити на три частини: (1) коефіцієнт потоку O2/SF6 є дуже малим, ніж у 2, якщо не додавання SF6, і не додавання. (2) Коли коефіцієнт потоку O2/SF6 перевищує 0,2 до інтервалу, що наближається до 1, в цей час, через велику кількість дисоціації SF6 для утворення атомів F, швидкість травлення є найвищою; Але в той же час атоми O у плазмі також збільшуються, і легко утворювати SIOX або SINXO (YX) з поверхнею плівки SINX, і чим більше атомів O збільшується, тим складніше атоми F будуть для реакції травлення. Тому швидкість травлення починає сповільнюватися, коли співвідношення O2/SF6 близьке до 1. (3), коли співвідношення O2/SF6 перевищує 1, швидкість травлення зменшується. Через велике збільшення O2 дисоційовані атоми F стикаються з O2 і формою, що зменшує концентрацію атомів F, що призводить до зниження швидкості травлення. З цього можна видно, що при додаванні O2 відношення потоку O2/SF6 становить від 0,2 до 0,8, і найкраща швидкість травлення може бути отримана.