У 2018 році глобальний ринок електронних газів для інтегрованих ланцюгів досяг 4,512 мільярдів доларів США, щорічно збільшився на 16%. Високі темпи зростання електронної спеціальної газової промисловості для напівпровідників та величезний розмір ринку прискорили внутрішній план заміщення електронного спеціального газу!
Що таке електронний газ?
Електронний газ відноситься до основного вихідного матеріалу, що використовується у виробництві напівпровідників, дисплеїв плоских панелей, світлодіодних діодів, сонячних батарей та інших електронних продуктів, і широко використовується для очищення, травлення, формування плівки, допінгу та інших процесів. Основні сфери застосування електронного газу включають промисловість електроніки, сонячні батареї, мобільні комунікації, навігацію автомобілів та аудіосистеми автомобілів, аерокосмічна, військова промисловість та багато інших галузей.
Електронний спеціальний газ можна розділити на сім категорій відповідно до власного хімічного складу: кремнію, миш'як, фосфор, бор, гідрид металу, галогенід та металевий алкоксид. Відповідно до різних методів застосування в інтегрованих ланцюгах, його можна розділити на допінг-газ, епітаксичний газ, іонний імплантаційний газ, газовий газ, що викидає світло, травлення газу, газового осадження пари та газового газу. У напівпровідниковій галузі використовується понад 110 одиничних спеціальних газів, з яких зазвичай використовується понад 30.
Як правило, напівпровідникова промисловість ділить гази на два типи: звичайні гази та спеціальні гази. Серед них часто використовуваний газ відноситься до централізованого постачання і використовує багато газу, таких як N2, H2, O2, AR, HE та ін. Спеціальний газ відноситься до деяких хімічних газів, що використовуються в процесі напівпровідникового виробництва, таких як розширення, ін'єкція іонів, змішування, промивання та утворення маски NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCL, CL2 тощо.
У всьому виробничому процесі напівпровідникової промисловості, від зростання мікросхем до остаточної упаковки пристроїв, майже кожна ланка невіддільна від електронного спеціального газу, а також різноманітність використаних газових вимог та високоякісних вимог, тому електронний газ має напівпровідникові матеріали. "Їжа".
Останніми роками основні електронні компоненти Китаю, такі як напівпровідники та панелі дисплеїв, збільшилися в нових виробничих потужностях, і існує великий попит на заміну імпорту електронних хімічних матеріалів. Позиція електронних газів у напівпровідниковій галузі стає все більш помітною. Внутрішня електронна газова промисловість призведе до швидкого зростання.
Електронний спеціальний газ має дуже високі вимоги до чистоти, оскільки якщо чистота не відповідає вимогам, групи домішок, такі як водяна пара та кисень в електронному спеціальному газі, легко утворюватимуть оксид на поверхню напівпровідника, що впливає на службовий термін служби електронних пристроїв, а електронний спеціальний газ містить частинки домішок, може спричинити півкруги напівпровідників та схеми. Можна сказати, що поліпшення чистоти відіграє життєво важливу роль у врожайності та продуктивності виробництва електронних пристроїв.
Завдяки постійному розвитку напівпровідникової промисловості процес виробництва чіпів продовжує вдосконалюватися, і тепер він досяг 5 нм, що ось-ось наближається до межі закону Мура, що еквівалентно одній двадцяти діаметра людського волосся (близько 0,1 мм). Тому це також висуває більш високі вимоги щодо чистоти електронного спеціального газу, що виробляється напівпровідниками.
Час посади: 15-2021 грудня
