У 2018 році світовий ринок електронного газу для інтегральних схем досяг 4,512 мільярда доларів США, що на 16% більше, ніж у минулому році. Високі темпи зростання промисловості електронного спеціального газу для напівпровідників і величезний розмір ринку прискорили внутрішній план заміни електронного спеціального газу!
Що таке електронний газ?
Електронний газ відноситься до основного вихідного матеріалу, який використовується у виробництві напівпровідників, плоских дисплеїв, світловипромінювальних діодів, сонячних елементів та інших електронних виробів, і широко використовується для очищення, травлення, формування плівок, легування та інших процесів. Основні сфери застосування електронного газу включають електронну промисловість, сонячні батареї, мобільний зв'язок, автомобільну навігацію та автомобільні аудіо- та відеосистеми, аерокосмічну промисловість, військову промисловість та багато інших галузей.
Електронний спеціальний газ можна розділити на сім категорій відповідно до його власного хімічного складу: кремній, миш'як, фосфор, бор, гідрид металу, галогенід і алкоголят металу. Відповідно до різних методів застосування в інтегральних схемах, його можна розділити на газ для легування, газ для епітаксії, газ для іонної імплантації, газ для світлодіодів, газ для травлення, газ для хімічного осадження з парової фази та балансовий газ. У напівпровідниковій промисловості використовується понад 110 одиниць спеціальних газів, з яких понад 30 є загальновживаними.
Загалом промисловість виробництва напівпровідників поділяє гази на два типи: звичайні гази та спеціальні гази. Серед них зазвичай використовуваний газ відноситься до централізованого постачання та використовує багато газу, такого як N2, H2, O2, Ar, He тощо. Спеціальний газ відноситься до деяких хімічних газів, які використовуються в процесі виробництва напівпровідників, таких як подовження, введення іонів, змішування, промивання та формування маски, який ми зараз називаємо електронним спеціальним газом, таким як високочистий SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 тощо.
У всьому виробничому процесі напівпровідникової промисловості, від росту чіпа до кінцевої упаковки пристрою, майже кожна ланка невіддільна від електронного спеціального газу, різноманітності використовуваного газу та високих вимог до якості, тому електронний газ має напівпровідникові матеріали. «Їжа».
В останні роки основні електронні компоненти Китаю, такі як напівпровідники та панелі дисплеїв, збільшили нові виробничі потужності, і існує великий попит на імпортозаміщення електронних хімічних матеріалів. Позиція електронних газів у напівпровідниковій промисловості стає все більш помітною. Вітчизняна електронна газова промисловість розпочне швидке зростання.
Електронний спеціальний газ має дуже високі вимоги до чистоти, оскільки якщо чистота не відповідає вимогам, групи домішок, такі як водяна пара та кисень, у електронному спеціальному газі легко утворять оксидну плівку на поверхні напівпровідника, що впливає на Термін служби електронних пристроїв, а електронний спеціальний газ містить Частинки домішок можуть спричинити коротке замикання напівпровідника та пошкодження ланцюга. Можна сказати, що підвищення чистоти відіграє важливу роль у продуктивності та продуктивності виробництва електронних пристроїв.
З безперервним розвитком напівпровідникової промисловості процес виробництва чіпів продовжує вдосконалюватися, і тепер він досяг 5 нм, що ось-ось наблизиться до межі закону Мура, що еквівалентно одній двадцятій діаметра людської волосини ( приблизно 0,1 мм). Таким чином, це також висуває підвищені вимоги до чистоти електронного спеціального газу, виробленого напівпровідниками.
Час публікації: 15 грудня 2021 р
