У 2018 році світовий ринок електронних газів для інтегральних схем досяг 4,512 мільярда доларів США, що на 16% більше, ніж у попередньому році. Високі темпи зростання галузі електронних спеціальних газів для напівпровідників та величезний розмір ринку прискорили план заміщення електронних спеціальних газів на внутрішньому ринку!
Що таке електронний газ?
Електронний газ є основним вихідним матеріалом, що використовується у виробництві напівпровідників, плоских дисплеїв, світлодіодів, сонячних елементів та інших електронних виробів, і широко використовується для очищення, травлення, формування плівок, легування та інших процесів. Основні сфери застосування електронного газу включають електронну промисловість, сонячні елементи, мобільний зв'язок, автомобільну навігацію та автомобільні аудіо- та відеосистеми, аерокосмічну, військову промисловість та багато інших галузей.
Спеціальний газ для електроніки можна розділити на сім категорій за його хімічним складом: кремній, миш'як, фосфор, бор, гідрид металу, галогенід та алкоголят металу. Залежно від різних методів застосування в інтегральних схемах, його можна розділити на легуючий газ, газ епітаксії, газ іонної імплантації, газ світлодіодів, газ травлення, газ хімічного осадження з парової фази та балансовий газ. У напівпровідниковій промисловості використовується понад 110 видів спеціальних газів, з яких понад 30 є загальноприйнятими.
Зазвичай, у промисловості виробництва напівпровідників гази поділяються на два типи: звичайні гази та спеціальні гази. Серед них загальновживаний газ стосується централізованого постачання та використання великої кількості газу, такого як N2, H2, O2, Ar, He тощо. Спеціальний газ стосується деяких хімічних газів, що використовуються в процесі виробництва напівпровідників, таких як розширення, інжекція іонів, змішування, промивання та формування маски, які ми зараз називаємо електронним спеціальним газом, таким як високочистий SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 тощо.
У всьому виробничому процесі напівпровідникової промисловості, від вирощування мікросхем до кінцевої упаковки пристрою, майже кожна ланка невіддільна від спеціального електронного газу, а також різноманітності використовуваного газу та високих вимог до якості, тому електронний газ має напівпровідникові матеріали. «Їжа».
В останні роки виробничі потужності основних електронних компонентів Китаю, таких як напівпровідники та дисплейні панелі, зросли, і існує високий попит на імпортозаміщення електронних хімічних матеріалів. Позиція електронних газів у напівпровідниковій промисловості стає дедалі помітнішою. Вітчизняна промисловість електронних газів сприятиме швидкому зростанню.
Спеціальний газ для електроніки має дуже високі вимоги до чистоти, оскільки якщо чистота не відповідає вимогам, домішки, такі як водяна пара та кисень, у спеціальному газі для електроніки, легко утворюють оксидну плівку на поверхні напівпровідника, що впливає на термін служби електронних пристроїв, а частинки домішок, що містяться у спеціальному газі для електроніки, можуть спричинити коротке замикання напівпровідників та пошкодження ланцюгів. Можна сказати, що підвищення чистоти відіграє життєво важливу роль у виході та продуктивності виробництва електронних пристроїв.
З постійним розвитком напівпровідникової промисловості процес виробництва мікросхем продовжує вдосконалюватися, і зараз він досяг 5 нм, що майже наближається до межі закону Мура, еквівалентної одній двадцятій діаметра людської волосини (близько 0,1 мм). Отже, це також висуває вищі вимоги до чистоти електронного спеціального газу, що виробляється напівпровідниками.
Час публікації: 15 грудня 2021 р.
