Хлорид водню- це безбарвний газ з гострим запахом. Його водний розчин називається соляною кислотою, також відомою як соляна кислота. Хлорид водню дуже розчинний у воді. При 0 ° С 1 об'єм води може розчиняти близько 500 обсягів хлориду водню.

Він має такі властивості та характеристики:

1. Висока чистота

Чистота електронного класухлорид воднюдуже високий, як правило, на PPM або нижчому рівні, щоб переконатися, що домішки не вводяться в процес виробництва напівпровідників.

2. Інертність

Це хімічно інертний газ, який не реагує з багатьма іншими речовинами, що дуже важливо запобігти забрудненню напівпровідникових матеріалів та обладнання.

3. Висока стабільність

Електронна оцінкахлорид воднюЯк правило, стабільна хімія для забезпечення надійної напівпровідникової обробки.

У напівпровідниковій обробці основними застосуванням електронного хлориду водню належать:

1. Очищення та підготовка поверхні

Як ефективний очищувач поверхні, електронний сортхлорид воднювикористовується для видалення оксидів і домішок з поверхні підкладки для забезпечення якості та чистоти епітаксіального шару або плівки.

2. Ееееееееееееееш’ютеентне зростання

Використовується як поверхневий очисний засіб в епітаксіальному процесі, він допомагає покращити якість епітаксіального шару, покращити відповідність решітки та зменшити утворення дефектів решітки.

3. Попередня обробка підкладки

До підготовки напівпровідникових пристроїв, електронний класхлорид воднюможе бути використаний для обробки поверхні підкладки для утворення стабільної основи для поліпшення адгезії між епітаксіальним шаром та підкладкою.

4. Допоміжний агент осадження

У процесі хімічного осадження пари (ССЗ) або фізичного осадження пари (PVD) електронний хлорид водню може використовуватися як середовище перенесення газової фази для участі в реакції осадження напівпровідникових матеріалів.

5.

Як агент передачі газу, інші газоподібні попередники вводять у реакційну камеру, щоб допомогти регулювати швидкість осадження та рівномірність матеріалу.

Ці характеристики роблять електронний сортхлорид воднюВажливий агент з обробки в напівпровідниковій технології, який має ключовий вплив на продуктивність та надійність остаточного пристрою.

Окрім використання в напівпровідниковій обробці, хлорид водню електронного класу може знайти різноманітні використання в інших областях, включаючи: підготовку матеріалів з високою чистотою, паливні елементи, ріст напівпровідникових матеріалів, літографію фазової фази, аналіз матеріалів, хімічні дослідження.

Загалом, електронний класхлорид водню- це універсальний газ з високою чистотою, який має широкий спектр застосувань поза виробництвом напівпровідників.