Визначення та стандарти чистоти високої чистотиМетан
Висока чистотаметанстосується газу метану з відносно високою чистотою. Як правило, метан з чистотою 99,99% або вище можна вважати високочистим.метанУ деяких більш суворих сферах застосування, таких як електронна промисловість, вимоги до чистоти можуть сягати 99,999% або навіть вище. Ця висока чистота досягається завдяки складним технологіям очищення та розділення газів для видалення домішок, таких як волога, вуглекислий газ, чадний газ, водень та інші газоподібні компоненти.
Галузі застосування високочистого метану
В електронній промисловості,метан високої чистотивикористовується як травильний газ та сировина для хімічного осадження з парової фази (CVD) у виробництві напівпровідників. Наприклад, при плазмовому травленні метан змішується з іншими газами для точного травлення напівпровідникових матеріалів, утворюючи крихітні схеми. У CVD,метанзабезпечує джерело вуглецю для вирощування тонких плівок на основі вуглецю, таких як плівки карбіду кремнію, які відіграють вирішальну роль у покращенні продуктивності та стабільності напівпровідникових приладів.
Хімічна сировина:Метан високої чистотиє важливою сировиною для синтезу багатьох хімічних речовин з високою доданою вартістю. Наприклад, він може реагувати з хлором, утворюючи хлороформ, дихлорметан, трихлорметан та чотирихлорметан. Хлорметан є сировиною для виробництва кремнійорганічних сполук, дихлорметан та трихлорметан зазвичай використовуються як розчинники, а чотирихлорметан колись використовувався як вогнегасний засіб, але його використання зараз суворо обмежене через його озоноруйнівний вплив. Крім того,метанможе бути перетворений на синтез-газ (суміш чадного газу та водню) шляхом реакцій риформінгу, а синтез-газ є основною сировиною для виробництва метанолу, синтетичного аміаку та багатьох інших хімічних продуктів.
В енергетичному секторі: хоча звичайний метан (природний газ) є основним енергетичним ресурсом,метан високої чистотитакож відіграє певну роль у певних спеціалізованих енергетичних застосуваннях. Наприклад, у паливних елементах високочистий метан може використовуватися як паливо, піддаючись риформінгу для отримання водню, який живить паливний елемент. Порівняно з традиційним викопним паливом, паливні елементи, що використовують високочистий метан, досягають вищої енергоефективності та нижчих викидів забруднюючих речовин.
Підготовка стандартних газів:Метан високої чистотиможе бути використаний як стандартний газ для калібрування приладів для аналізу газу. Наприклад, у газовому хроматографі, використовуючиметан високої чистотиСтандартний газ відомої концентрації може калібрувати чутливість та точність виявлення приладу, забезпечуючи точні та надійні аналітичні результати для інших газів.
Час публікації: 07 листопада 2025 р.






