Трихлорид бору (BCl3)— неорганічна сполука, яка зазвичай використовується в процесах сухого травлення та хімічного осадження з парової фази (CVD) у виробництві напівпровідників. Це безбарвний газ із сильним різким запахом за кімнатної температури, чутливий до вологого повітря, оскільки гідролізується з утворенням хлоридної та борної кислот.

Застосування трихлориду бору

У напівпровідниковій промисловості,Трихлорид боруВ основному використовується для сухого травлення алюмінію та як легуюча добавка для формування P-подібних областей на кремнієвих пластинах. Його також можна використовувати для травлення таких матеріалів, як GaAs, Si, AlN, та як джерело бору в певних специфічних застосуваннях. Крім того, трихлорид бору широко використовується в металообробці, скляній промисловості, хімічному аналізі та лабораторних дослідженнях.

Безпека трихлориду бору

Трихлорид борує корозійним та токсичним і може спричинити серйозне пошкодження очей та шкіри. У вологому повітрі гідролізується з виділенням токсичного газоподібного хлористого водню. Тому під час роботи необхідно вживати відповідних заходів безпеки.Трихлорид бору, включаючи носіння захисного одягу, окулярів та засобів захисту органів дихання, а також роботу в добре провітрюваному приміщенні.