Борон трихлорид (Bcl3)- неорганічна сполука, яка зазвичай використовується в процесах сухого травлення та хімічного осадження пари (ССЗ) при виробництві напівпровідників. Це безбарвний газ з сильним гострим запахом при кімнатній температурі і чутливий до вологого повітря, оскільки він гідролізує для отримання соляної кислоти та борної кислоти.

Застосування бору трихлориду

У напівпровідниковій галузі,Бору трихлоридув основному використовується для сухого травлення алюмінію та як допант для утворення областей P-типу на вафлях кремнію. Він також може бути використаний для травлення таких матеріалів, як GAAS, SI, ALN та як джерело бору в певних конкретних додатках. Крім того, борон трихлорид широко використовується в переробці металів, скляній промисловості, хімічному аналізі та лабораторних дослідженнях.

Безпека бору трихлориду

Бору трихлоридує корозійним та токсичним і може завдати серйозного пошкодження очей та шкіри. Він гідролізує у вологому повітрі для вивільнення токсичного газу хлориду водню. Тому при обробці потрібно вжити відповідних заходів безпекиБору трихлориду, включаючи носіння захисного одягу, окулярів та обладнання для захисту дихання, а також роботи в добре провітрюваному середовищі.